H94-25C型4″单面光刻机
- 品牌： SVC
- 型号： H94-25C型
- 市场价： 元
- 优惠价： 元 (已有 0 人购买)
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主要用途
主要构成
 视频: H94-25单面光刻机操作简介
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多点光源（蝇眼）
三点找平机构 |
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主要功能特点 1.适用范围广 适用于Φ100mm以下(最小尺寸为Φ5mm)，厚度5mm以下的各种基片(包括非圆形基片)的对准曝光。 2.分辨率高 采用高均匀性的多点光源（蝇眼）曝光头，非常理想的三点式自动找平机构和稳定可靠的真空密着装置，使本机的曝光分辨率大为提高。 3.套刻精度高、速度快 采用版不动片动的下置式三层导轨对准方式，使导轨自重和受力方向保持一致，自动消除间隙；承片台升降采用无间隙滚珠直进导轨、气动式Z轴升降机构和双簧片微分离机构，使本机片对版在分离接触时漂移特小，对准精度高，对准速度快，从而提高了版的复用率和产品的成品率。 4.可靠性高 采用PLC控制器、进口电磁阀和按钮、独特的气动系统、真空管路系统和经过精密机械制造工艺加工的零件，使本机具有非常高的可靠性且操作、维护、检修简便。 5.特设“碎片”处理功能 解决非圆形基片、碎片和底面不平的基片造成的版片分离不开所引起的版片无法对准的问题。
主要技术指标
◆曝光类型：单面 |
