用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半导体检漏仪及用于质谱分析的各种质谱计。这里主要介绍氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器的工作原理、结构及国产检漏仪器的技术性能。

氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器, 它具有性能稳定、灵敏度高的特点, 是真空检漏技术中灵敏度最高, 用得最普遍的检漏仪器。氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为 10^-9 ～10^-12Pam ³/s,广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较,本底噪声显著减小,其灵敏度可10^-14～10^-15 Pam³/s, 适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局,被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位, 因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点, 适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏, 其灵敏度可达10^-12Pam3/s。

(1) 工作原理与结构

氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

单级磁偏转型氦质谱检漏仪现以 HZJ-1型仪器为例, 介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪,在质谱室内有: 由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源; 由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器; 由抑制栅、收集极及高阻组成收集器; 第一级放大静电计管和冷阴极电离规。

（2）双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪

双级 90°偏转串联式磁偏转型氦质谱检漏仪的质谱室。由于两次分析, 减少了非氦离子到达收集器的机率。并且在两个分析器的中间, 即图中的中间缝隙 S2与邻近的挡板间设置加速电场, 使离子在进入第二个分析器前再次被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子, 虽然可以通过第一个分析器, 但是, 经第二次加速进入第二个分析器后, 由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。由于二次分离, 仪器本底及本底噪声显著地减小, 提高了仪器灵敏度。