真空密封性能取决于连接处的泄漏与真空材料的放气。对于真空系统的压力在高于10^-5Pa真空范围内广泛使用橡胶，环氧树脂，塑料，而对于真空低于10^-7Pa的超高真空，必须采用金属密封。

密封装置分类：静密封与动密封。

按接触形式分类：非接触密封与接触密封

按密封位置分类：端面密封与圆周密封

密封的基本要求：

1. 在要求的压力与温度范围内具有良好的密封性能

2. 摩擦阻力小，摩擦系数稳定

3. 磨损小，工作寿命长

4. 结构简单，标准化，系列化，便于装拆，维修。

O型橡胶密封圈（O ring）

O型圈密封是挤压式密封，密封圈安装在沟槽内受到预压缩而起密封作用，在接触边缘上压力的增高使密封效果增加，密封压力1.33×10^-5Pa到100MPa范围内，适用与动，静密封。

O型圈失效：材料问题，压缩变形，间隙咬伤，扭曲现象，表面粗燥度不当等。

优点：材料致密性好，有适当的机械强度与硬度，压缩性与回弹性好，永久变形小，抗腐蚀性好，可多次使用。

缺点：不耐高温，高压，压缩变形易漏气等

无氧铜密封垫圈

铜（Cu）的热膨胀系数为αs=16.4×10^-6 cm/cm·℃。铜的硬度比较大，铜制密封圈在使用前必须在真空或氢气中进行退火处理，消除内应力。无氧铜是目前超高真空密封联接中常用的密封圈材料。在要求高的情况下，将无氧铜的密封圈的表面镀一层金，使其具有更好的密封性能。

优点：放气量很小，渗透率低，耐高温烘烤。

缺点：压紧力大，调整严格，重复次数少。